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IKN(依肯)機(jī)械拋光液氣相納米二氧化硅高速混合分散機(jī)ERS2000
詳細(xì)信息品牌:IKN(依肯) 類型:乳化分散機(jī) 物料類型:固-液 適用物料:化學(xué)品 應(yīng)用領(lǐng)域:化工 型號(hào):ERS2000 速度類別:有級(jí)變速 調(diào)速范圍:15000 r/min 分散輪直徑:80 mm 升降行程:100 mm 電機(jī)功率:11 Kw 變速方式:變頻變速 罐容量:100 L 外形尺寸:1000 mm 整機(jī)重量:500 kg
廣泛用于多種材料納米級(jí)的高平坦化拋光,如:硅晶圓片、鍺片、化合物半導(dǎo)體材料砷化鎵、磷化銦,精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石片等的拋光加工。
化學(xué)機(jī)械拋光適用于半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)線前段工藝以及生產(chǎn)線后端工藝,在半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中,針對(duì)涉及前段工藝的淺溝槽隔離的化學(xué)機(jī)械拋光近些年被廣泛 研究;在該工藝中需要對(duì)沉積在硅晶片的開(kāi)口中的原硅酸四乙酯電介質(zhì)層進(jìn)行拋光
氣相二氧化硅是極其重要的高科技超微細(xì)無(wú)機(jī)新材料之一,由于其粒徑很小,因此比表面積大,表面吸附力強(qiáng),表面能大,化學(xué)純度高、分散性能好、熱阻、電阻等方面具有特異的性能,以其優(yōu)越的穩(wěn)定性、補(bǔ)強(qiáng)性、增稠性和觸變性,在眾多學(xué)科及領(lǐng)域內(nèi)獨(dú)具特性,有著不可取代的作用。氣相二氧化硅俗稱"超微細(xì)白炭黑",廣泛用于各行業(yè)作為添加劑、催化劑載體,石油化工,脫色劑,消光劑,橡膠補(bǔ)強(qiáng)劑,塑料充填劑,油墨增稠劑,金屬軟性磨光劑,絕緣絕熱填充劑,高級(jí)日用化妝品填料及噴涂材料、醫(yī)藥、環(huán)保等各種領(lǐng)域。并為相關(guān)工業(yè)領(lǐng)域的發(fā)展提供了新材料基礎(chǔ)和技術(shù)保證。由于它在磁性、催化性、光吸收、熱阻和熔點(diǎn)等方面與常規(guī)材料相比顯示出特異功能,因而得到人們的重視。
分散效果介紹:分散是至少兩種不相容液體構(gòu)成熱力學(xué)不穩(wěn)定體系,一種液體以球形單位分散在另一種液體中,所以分散越穩(wěn)定分散效果越好。
從設(shè)備角度來(lái)分析,影響分散效果因素有以下幾點(diǎn):
1.分散頭的形式(批次式和連續(xù)式)(連續(xù)式比批次式要好)
2.分散頭的剪切速率,(越大效果越好)
3.分散頭的齒形結(jié)構(gòu)(分為初齒、中齒、細(xì)齒、超細(xì)齒、越細(xì)齒效果越好)
4.物料在分散墻體的停留時(shí)間、分散時(shí)間(可以看作同等電機(jī),流量越小效果越好)
5.循環(huán)次數(shù)(越多效果越好,到設(shè)備的期限就不能再好了。)
ERS2000系列選型表:
標(biāo)準(zhǔn)流量(H2O)
輸出轉(zhuǎn)速
標(biāo)準(zhǔn)線速度
馬達(dá)功率
進(jìn)出口尺寸
型號(hào)
l/h
rpm
m/s
kW
ERS 2000/4
700
20000
66
5.5
DN25/DN15
ERS 2000/5
1,500
15,750
66
15
DN40 /DN 32
ERS 2000/10
5,000
10,950
66
30
DN50 / DN50
ERS 2000/20
10,000
7,300
66
55
DN80 /DN 65
ERS 2000/30
30,000
4,000
66
90
DN150 /DN 125
ERS 2000/50
50,000
3,000
66
160
DN200 /DN 150
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